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點擊 10234回答 0 2011-05-18 20:56

豐常令人頭痛的問題-裂紋

已關(guān)閉 懸賞分:0
虛心請教高手們一個我解決不了的問題,在這里先行謝過!!
我們現(xiàn)使用梅耶博格的BS805帶鋸進行單晶棒的開方,但是,最近在晶棒底部出現(xiàn)裂紋,我降低過出刀時工作臺的進給速度,也做過其它的一些其它的實驗,甚至加快過出刀時的進給速度人,但是一點效果都沒有。這種裂紋嚴重會導致晶棒底崩裂,輕的有細小紋路及亮點。而且現(xiàn)在裂紋出現(xiàn)沒有規(guī)律,時有時無。請問這種裂紋的產(chǎn)生是不是因為切割造成的,怎么解決?是不是單晶棒本身的問題?
急盼回應(yīng),謝謝

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