世紀新能源網(wǎng)（新能app）消息：近日，江蘇微導納米科技股份有限公司宣布其研發(fā)的全球首臺適用于TOPCon技術的ALD設備正式進入量產(chǎn)階段。

微導研發(fā)的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉積設備平臺，用于Topcon電池生產(chǎn)技術，產(chǎn)品已交用戶使用，工藝參數(shù)的開發(fā)及優(yōu)化取得重大技術突破，隨著中試線的搭建完成，相應的高效Topcon電池即將面世。

祝融系列作為全球首創(chuàng)兼容PERC與TOPCon兩種工藝技術的鍍膜平臺，其有著獨特的設計理念。平臺能很好地與目前量產(chǎn)PERC工藝兼容，技術首次通過一臺設備完成三種工藝，相對于傳統(tǒng)LPCVD設備沉積技術，將大幅改善N型電池正面多晶硅繞度面積與摻雜多晶硅鍍膜速率降低的影響。設備兼容性還體現(xiàn)于硅片尺寸，P型背面鈍化與N型電池正背面鈍化技術。


基于Topcon電池結(jié)構，原有PERC線升級TOPCon路線，僅需新增一臺祝融平臺與一臺對應的清洗機，以及一臺硼擴（或者通過改造原PERC產(chǎn)線的磷擴散機臺），就可以完成Topcon電池正面氧化鋁/氮化硅 ,背面遂穿氧化層/多晶硅與氮化硅的鈍化。體現(xiàn)了該設備優(yōu)異的整合能力與生產(chǎn)的可調(diào)度性。固定資產(chǎn)投入具備競爭力，同時工藝路線也可簡化與控制。

該設備平臺制備的鈍化膜體現(xiàn)了優(yōu)異的鍍膜均勻性和方阻均勻性，摻雜鈍化效果也明顯優(yōu)于傳統(tǒng)的磷擴散工藝，同時在鈍化表現(xiàn)部分，也展現(xiàn)了綜合的正背面鈍化能力。

Topcon電池技術極大地簡化了電池生產(chǎn)工藝，性價比高，且能量轉(zhuǎn)化率高，最有望作為下一代N型高效電池的切入點。