加利福尼亞州,圣何塞市，2010年10月18日美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC。)是一家業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的微細(xì)表面形貌測量儀器制造商。該公司今天宣布博世已選擇Zeta-200™光學(xué)測量系統(tǒng)用來配備其位于德國斯圖加特的高科技研發(fā)中心。作為全球領(lǐng)先的技術(shù)和服務(wù)供應(yīng)商，博世選擇澤塔的三維表面成像和測量解決方案，用來滿足博世一系列研發(fā)活動中關(guān)鍵的測量需求，包括光電和MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）的研發(fā)。

Zeta-200顯微鏡系統(tǒng)采用澤塔的專利Z-點(diǎn)陣™技術(shù)。，它可以對高縱橫比樣品進(jìn)行非接觸、無損傷、快速三維成像，并且實(shí)現(xiàn)對臺階高度、粗糙度、尺寸、角度和體積的測量。由于它的非破壞性測量性能，用戶能夠快速高效地對高縱橫比的表面特征進(jìn)行測量和分析，從而加快對流體微通道制造工藝的開發(fā)和研究。Zeta-200也使得對高粗糙度、極低反射率的復(fù)雜表面的成像變得更加容易，這種特性在太陽能電池的研究和生產(chǎn)上發(fā)揮了積極的作用。

運(yùn)用Z-點(diǎn)陣技術(shù)，Zeta光學(xué)系統(tǒng)能夠?qū)ξ⒓?xì)表面特征進(jìn)行快速三維測量。在不到一分鐘的時(shí)間，Zeta-200以精度高達(dá)15納米的步距垂直掃描樣品表面，在對樣品進(jìn)行Z軸精確量測的同時(shí)，提取X軸和Y軸的信息。大多數(shù)儀器在測量這些表面時(shí)會遇到困難，有的還需要復(fù)雜的校準(zhǔn)和樣品準(zhǔn)備。與其它同類產(chǎn)品相比，Zeta-200是一種更易于使用的光學(xué)測量工具，需要較少的培訓(xùn)和系統(tǒng)維護(hù)，因此它為用戶提供了更快、更好的解決方案。

“由于選用了Zeta-200，我們能夠快速、可靠地測量我們的太陽能電池和MEMS結(jié)構(gòu)，這為我們帶來了更高的效率和更低的制造成本，” 博世公司硅太陽能電池研究中心的Thomas Wagner博士說：“我們評估了眾多測量設(shè)備，最終毫無爭議的選擇了Zeta-200。這臺儀器能夠及時(shí)地為我們幾個(gè)研究團(tuán)隊(duì)提供關(guān)鍵的測量數(shù)據(jù)，，從而幫助他們在各自領(lǐng)域里保持領(lǐng)先地位。”

與激光共聚焦顯微鏡相比，Zeta-200獨(dú)特的應(yīng)用軟件和硬件組合具有更卓越的成像和測量功能。此外，Zeta-200還提供真彩色圖像和優(yōu)惠的價(jià)格。，其優(yōu)化的整體設(shè)計(jì)確保了系統(tǒng)的易用性和低廉的維護(hù)成本。其它解決方案，比如干涉顯微鏡系統(tǒng)，需要對樣品進(jìn)行水平度調(diào)整它難以對例如微機(jī)電系統(tǒng)所使用的大深度特征樣本進(jìn)行有效測量。掃描電子顯微鏡（SEM）雖然可用于高精度成像，但是它不能提供真實(shí)的彩色圖像。而且它需要時(shí)間制備樣品這個(gè)過程往往會對樣品造成損傷。

澤塔儀器公司的總裁Rusmin Kudinar表示：“Z-點(diǎn)陣技術(shù)具有對一系列難以測量復(fù)雜表面進(jìn)行高精度成像和測量的優(yōu)勢，是太陽能電池和生物技術(shù)應(yīng)用的理想測量工具。我們很高興博世在同類產(chǎn)品中選擇我們作為其最佳解決方案。同時(shí)我們也很榮幸能為他們提供所需的關(guān)鍵測量設(shè)備?！?/P>

澤塔系統(tǒng)的另一個(gè)獨(dú)到之處是集多功能于一身。Zeta-200的可選功能包括：薄膜厚度測量；Nomarski/q-DIC成像、以及各種不同的樣品載臺。這些選項(xiàng)使用戶能夠測量透明薄膜樣品，如防反射涂層、光阻和納米級的超平滑表面，以及對樣品在多個(gè)方向進(jìn)行掃描測量。如需獲取更多的關(guān)于Zeta-200的信息，請?jiān)L問http://www.zeta-inst.com/contact。

關(guān)于博世
博世集團(tuán)是汽車、工業(yè)技術(shù)、消費(fèi)品和建筑技術(shù)市場上世界領(lǐng)先的技術(shù)及服務(wù)供應(yīng)商。博世集團(tuán)研究中心為博世的創(chuàng)新提供基礎(chǔ)。博世研究中心的1300多名員工，在全球致力于前沿科技的研究，努力創(chuàng)造新專利，使產(chǎn)品更有效、更容易操作、更安全、更環(huán)保。欲了解更多信息，請?jiān)L問http://researchinfo.bosch.com/

關(guān)于澤塔儀器
澤塔儀器公司是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的微細(xì)表面形貌成像和測量解決方案供應(yīng)商。澤塔的測量系統(tǒng)幫助綠色環(huán)保技術(shù)和生物醫(yī)藥產(chǎn)品制造商大幅提高產(chǎn)量和增強(qiáng)質(zhì)量控制。其解決方案被廣泛應(yīng)用于微流體/生物技術(shù)、高亮度LED、太陽能電池、磁存儲介質(zhì)的開發(fā)和生產(chǎn)。澤塔是一家總部位于美國加利福尼亞州圣何塞市的私人控股公司。欲了解更多有關(guān)澤塔儀器及其產(chǎn)品，請?jiān)L問www.zeta-inst.com

Z-點(diǎn)陣和Zeta-200是澤塔儀器公司的注冊商標(biāo)。

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